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PFEIFFER

PFEIFFER

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 1890 年创于德国，核心产品含涡轮分子泵、干式真空泵及真空机械臂，具无油洁净、低振动特性，获 ISO 认证。应用于半导体蚀刻、晶圆检测及真空镀膜，支撑纳米级制造需求。

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