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沉积材料
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本发明提供了沉积材料的方法,该方法包括:在衬底上形成第一材料期间,在沉积腔室的表面上形成第一层,第一层包含第一材料并具有突出物;在形成第一材料之后调节沉积腔室,所述调节在第一材料和突出物的上方形成第二层,第二层包含第二材料,第二材料不同于第一材料,其中,第二层阻止突出物从第一层脱落;在第二层上形成第三层,第三层包含第三材料;以及在形成第三层之后调节沉积腔室,在形成第三层之后调节沉积腔室的步骤在第三材料上方形成第四层,第四层包含第四材料,第四材料不同于第三材料.

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2021-12-10
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