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晶圆设备
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本实用新型涉及一种晶圆加工设备,包括晶圆载具,气源提供装置,及导向托盘.晶圆载具设有吹气通道.吹气通道的出气口形成于晶圆载具的承载面.气源提供装置与吹气通道的进气口相连通.导向托盘设置于承载面的上方,导向托盘的底面与出气口相对设置,与承载面之间形成有气流间隙.气源提供装置将气体通过吹气通道送入,经吹气通道的出气口外排,出气口排出的气体在导向托盘的导向作用下,经气流间隙朝向承载面的边缘方向吹扫,从而能将承载面上及晶圆载具的边缘上的颗粒物吹扫清洁干净.此外,在对晶圆载具清洁过程中,导向托盘能承受腔室中掉落的颗粒物,避免颗粒物掉落到承载面上.

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